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北京華卓精科科技股份有限公司面向國內外的IC制造、光學、太陽能、超精密制造等行業,致力于為行業提供整機裝備、核心子系統、關鍵零部件和定制服務,主營業務包含高端整機、超精密運動系統、精密儀器設備和高端特種制造等方面。華卓精科以國內著名高校的原發技術為基礎,經過多年技術攻關和客戶實用,形成了堅實規范的技術研發體系,現在已經成功推出了隔振、超精密運動系統、關鍵零部件等系列化產品,廣泛應用于各類企事業單位 ...

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  • 超高端精密運動控制產品

    超高端精密運動控制產品

    DWS系列——適用于干式步進掃描光刻機
    DWSI系列——適用于浸沒式步進掃描光刻機
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  • 高端設備類產品

    高端設備類產品

    整體化的系統工藝解決方案
    滿足從工藝試驗研究到工業級產品的要求
    獨特的工藝參數調節與優化匹配技術
    從納米到微米的大范圍退火深度
    高的退火激活率
    標準化的Cassette/FOUP晶圓傳輸
    完全兼容SEMI行業標準
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  • 超精密運動產品

    超精密運動產品

    高精度
    重復定位精度:優于1μm
    亞微米級重復定位精度、直線度和平面度
    高動態性能
    1g加速度,速度穩定性低于0.1%
    長期穩定性
    非接觸的導軌、驅動、測量設計
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  • 隔振產品

    隔振產品

    高性能空氣彈簧
    固有頻率可達2.5Hz,最高隔振效率達90%
    自動調節水平
    高精度水平閥,自動調節水平,使臺面輕松恢復水平狀態
    限位保護
    獨特的弓形限位保護裝置,確保平臺移動或工作中安全
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  • 靜電卡盤

    靜電卡盤

    可吸附物體:絕緣體、半導體、導體
    工作環境:真空、等離子體、大氣
    吸附特點:柔性均勻吸附、不損傷工件
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  • 制造中心

    制造中心

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  • 華卓精科榮獲2018年度北京市科學技術一等獎

  • 元旦快樂

  • 華卓精科產品獲中國專利銀獎

  • 華卓精科五軸全氣浮精密運動臺進入知名企業生產線,保持國內氣浮運動平臺技術領先地位

  • 華卓精科獲1.39億國家科技重大專項資金

  • 未來精密之“芯”,牽動國人心——朱煜教授專訪

  • 華卓精科:中國光刻機核心零部件頂尖供應商

  • 華卓精科LOGO變更聲明

  • 華卓精科攜高精尖產品亮相“雙創周”

  • 朱煜:精密事業

  • 朱煜:5年攻堅,我們實現了“皇冠明珠”國產化

  • 華卓精科亦莊園區暨光刻機工件臺產業化基地 奠基儀式隆重舉行

  • 華卓精科——壯志畢發 砥礪奮進

  • 習近平倡議,中國高端芯片聯盟正式成立

銷售部:010-62780929
市場部:010-62780928

北京華卓精科科技股份有限公司
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